全新一代晶圆检测方案

创新 UV–NIR 全波段自动对焦 × 拉曼光谱 × 即时无损演算技术
UniDRON-APCRS 是业界首创结合共轭焦显微拉曼技术与全自动线上检测平台的旗舰设备，专为先进半导体制程品质控管而设计。可于晶圆不同深度进行非破坏性定量分析，实现从材料端到制程端的即时回馈与自动判定。

产品亮点

全波段对焦 × 实时量测 × 自动允收 × 无需前处理

全波段对焦技术：UV–NIR（266–1064nm）支援，跨波段精准成像
✅ 非破坏性即时检测：无需切片、抛光，即可线上量测应力与掺杂
✅ 演算法驱动：专属公式模型直接输出应力/掺杂浓度数值
✅ 自动判定：内建判断逻辑、支持高通量批次检测
✅ 模组化整合：与 FOUP、FOSB、晶圆机械手臂无缝对接

可检测项目与应用

检测内容	功能说明
晶圓深度應力分佈	多層壓縮/拉伸應力分析，位移成像呈現
晶體晶格種類識別	鑑別4H/6H/15R單晶堆疊結構
晶格缺陷/層錯密度分析	堆疊層錯、E1/E2強度比分析、FWHM圖像化
晶圓摻雜濃度定量	鎂/鋁等離子注入層濃度，自動演算E₂位移圖像
多層異質結構分析	如矽鍺合金、應力層、多層膜厚分離辨識