功能简介
全自动光刻机 CI-150A/CI-200A
CI-150A/CI-200A系统是光刻工艺中高度可靠、准确和快速的叠加，是半导体制造行业高产量的关键。凭借其为满足特定工艺要求而设计的多种对准技术及其高度自动化，提供一流的对准精度以实现最佳生产结果。
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CI-150A/CI-200A系统是光刻工艺中高度可靠、准确和快速的叠加，是半导体制造行业高产量的关键。凭借其为满足特定工艺要求而设计的多种对准技术及其高度自动化，提供一流的对准精度以实现最佳生产结果。